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报道了化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量，提出了监控金刚石薄膜生长的激光反射多光束干涉的数学模型。通过原位反射率的测量，精确监控了金刚石薄膜的生长厚度,成功地制备了红外增透膜。这种方法的测量装置简单、紧凑而且可靠。
化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量
【摘 要】
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报道了化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量，提出了监控金刚石薄膜生长的激光反射多光束干涉的数学模型。通过原位反射率的测量，精确监控了金刚石薄膜的生长厚度,成功
【机 构】
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复旦大学信息学院光科学与工程系
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2001年3期
【基金项目】
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上海应用物理中心联合资助项目
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