迅速发展的SiC半导体技术

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SiC半导体技术在近几年得到了迅速发展,与其它半导体材料相比,SiC独特的热特性和电特性,在功率和频率性能方面具有最高的品质因数,SiC还适应于高温和辐射环境,从结构上看,SiC具有多种不同质异型体。本文概括介绍了SiC材料特性,晶体生长和器件研制的进展情况,以及SiC的应用前景。
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