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研制了一台集低能电子点源显微镜和场发射显微镜于一体的设备。研制的过程中，解决了包括超高真空的获得，外界振动的隔离，爬行器及其控制电路的设计，场发射电流-电压自动测量，超高真空换样等一系列问题。利用该设备，获得了放大倍数大于10^4的投影像，并且测量了单根多壁碳纳米管的场发射特性。
低能电子点源显微镜的研制及初步实验结果
【摘 要】
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研制了一台集低能电子点源显微镜和场发射显微镜于一体的设备。研制的过程中，解决了包括超高真空的获得，外界振动的隔离，爬行器及其控制电路的设计，场发射电流-电压自动测量，超高
【机 构】
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北京大学信息科学技术学院电子学系纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京普莱思科技有限责任公司
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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2006年5期
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