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压力薄膜及凹槽是微型压力传感器中的关键部分，其制造方法主要有两种：1）对体硅进行选择性移除的体加工；2）对表面淀积的牺牲层进行选择性移除的表面加工。针对薄膜凹槽的制作，介绍了几种典型的体加工和表面加工技术，分析了其中的某些关键步骤及其优缺点，为薄膜凹槽的制作提供指导性意见。
微型压力传感器薄膜凹槽的制造技术
【摘 要】
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压力薄膜及凹槽是微型压力传感器中的关键部分，其制造方法主要有两种：1）对体硅进行选择性移除的体加工；2）对表面淀积的牺牲层进行选择性移除的表面加工。针对薄膜凹槽的制作，介绍了
【机 构】
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重庆邮电大学光电工程学院,模拟集成电路国家级重点实验室,中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2009年3期
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