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采用低温反应射频溅射法在微晶玻璃上沉积了一层具有优取向的氮化铝薄膜，再在其上沉积８０Ｎｉ－２０Ｃｒ电阻网络，对电阻网络进行了功率老化，高温存贮，热冲击等可靠性试验，结果表明具有ＡｌＮ薄膜的电阻网络性能得到很大提高。
用AlN薄膜提高NiCr电阻网络的可靠性
【摘 要】
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采用低温反应射频溅射法在微晶玻璃上沉积了一层具有优取向的氮化铝薄膜，再在其上沉积８０Ｎｉ－２０Ｃｒ电阻网络，对电阻网络进行了功率老化，高温存贮，热冲击等可靠性试验，结果表明具有ＡｌＮ薄膜的电阻网
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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