【摘 要】
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在惯性约束聚变(ICF)装置中大量使用具有变频特性的水溶性磷酸二氢钾(KDP)类晶体材料。在KDP晶体上镀制薄膜材料成为保护KDP晶体的有效措施。以正硅酸乙酯(TEOS)为原料，采用溶胶-凝胶法和提拉方式制备膜厚λ/4的增透膜，再采用具有高憎水特性、高透射率、低折射率的氟聚合物AF2400在FC-75的可溶解特性，在SiO2增透膜上旋涂AF2400防潮膜。对薄膜的表面形貌、疏水性能、光学性能和抗激光损伤阈值等进行了测试。结果显示，AF2400-SiO2复合光学薄膜表面平整，折射率为1.21，疏水角可以达到
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在惯性约束聚变(ICF)装置中大量使用具有变频特性的水溶性磷酸二氢钾(KDP)类晶体材料。在KDP晶体上镀制薄膜材料成为保护KDP晶体的有效措施。以正硅酸乙酯(TEOS)为原料，采用溶胶-凝胶法和提拉方式制备膜厚λ/4的增透膜，再采用具有高憎水特性、高透射率、低折射率的氟聚合物AF2400在FC-75的可溶解特性，在SiO2增透膜上旋涂AF2400防潮膜。对薄膜的表面形貌、疏水性能、光学性能和抗激光损伤阈值等进行了测试。结果显示，AF2400-SiO2复合光学薄膜表面平整，折射率为1.21，疏水角可以达到110°～120°，抗激光损伤阈值为19.5 J/cm2，是性能优良的疏水光学薄膜，可用于三倍频晶体KDP的保护。
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