【摘 要】
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The development of micro-fabrication and micro-assembly technology is indispensable for the future manufacturing of miniaturized,functional,and integrated devices.This paper proposes a planar micro-assembly technology to make the assembly of micro-objects
【机 构】
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SchoolofPhysicalScienceandTechnology
【基金项目】
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We are grateful for the financial support from the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.11704204 and 61604084)and the K.C.Wong Magna Fund in Ningbo University,China.
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The development of micro-fabrication and micro-assembly technology is indispensable for the future manufacturing of miniaturized,functional,and integrated devices.This paper proposes a planar micro-assembly technology to make the assembly of micro-objects
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