环境扫描电镜中电荷环境的测量

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiayuanyuan001
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在环境扫描电镜(ESEM)中,采用高灵敏度的pA-表测试系统,测量法拉第杯,以及Cu-Zn合金、单晶Si、单晶Al2O3三种样品的样品电流(Isp)。Isp值反映出由电子流和离子流控制的ESEM样品室内的电荷环境。法拉第杯的,sP反映出入射电子和离子所控制的电荷环境;样品的Isp反映出入射电子、信号电子和离子所控制的电荷环境。由Isp值可确定ESEM在不同操作和环境条件下的离子化效率、离子化饱和程度,以及气体分子的散射作用。
其他文献
影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(脚)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法。NEGP对惰性气体无抽速,当以惰性气体作为校准
随着我国经济体制的全面转轨和金融业开放力度的不断加大,产融型企业集团开始在我国产生、发展,并逐渐显示出强大的生命力.本文分析了我国产融型企业集团发展的现状,探讨了产
采用中频交流磁控溅射方法,在玻璃基底上依次沉积了Mo、CuIn、CuGa薄膜,制备了CuInGa(CIG)双层预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了CuGa层制备过程