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微电子学中微细加工及表面分析技术要求亚微米束径的初离子束系统。我们研制成了源尖微调型的亚微米离子枪。它由液态金属离子源,源尖微调装置,离子透镜及静电八极偏转器等组成。在束能12keV时,束流1×10<sup>-9</sup>A,束径达亚微米。源尖调节精度X、Y:5μm,可调范围X、Y:1.000mm;束扫描范围2×2mm<sup>2</sup>。该枪已用于扫描离子显微镜中。