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原子氧处理对氧化锌薄膜的结构及光学特性的影响

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xaly001

【摘 要】

：

本文采用脉冲激光沉积方法在Al₂O₃（0001）基底上,500℃的衬底温度条件下,制备出了具有高度C轴择优取向的氧化锌薄膜。用自行研制的同轴源型原子氧地面模

【作 者】

：

王云飞 陈学康 郑阔海 李中华 王兰喜 杨生胜 冯展祖 高欣 

【机 构】

：

兰州物理研究所

【出 处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2009年S1期

【关键词】

：

氧化锌薄膜 PLD 原子氧 改性 ZnO filmPIDAtomic oxygen(AO)Treatment 

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本文采用脉冲激光沉积方法在Al₂O₃（0001）基底上,500℃的衬底温度条件下,制备出了具有高度C轴择优取向的氧化锌薄膜。用自行研制的同轴源型原子氧地面模拟装置,以1.62×10¹⁶AO·cm^-2·s^-1的原子氧束流强度（氧原子能量约5eV）对制备

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