【摘 要】
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<正> 离子注入的均匀性是一个至关重要的问题,静电偏转扫描电压的线性好坏,直接影响到注入的均匀性。因此,必须选择一个行之有效的测量扫描电压线性的方法。测量方式大体有以
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<正> 离子注入的均匀性是一个至关重要的问题,静电偏转扫描电压的线性好坏,直接影响到注入的均匀性。因此,必须选择一个行之有效的测量扫描电压线性的方法。测量方式大体有以下几种:1.对被测波形进行分割取样,获得 M 种不同幅度的窄脉冲电压,然后用多道脉冲幅度分析器对其作幅度谱分析。由σ表示被测电压的非线性:
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