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由于国产测斜仪性能不稳定，基坑深层水平位移监测数据中常含有系统误差．若忽视系统误差的影响而直接处理该数据，得到的位移值不能反映基坑的真实变形，从而使采集的数据失去了工程价值．为剔除系统误差，提高后继变形分析的准确性，研究了半参数模型的局部线性估计，并将其应用于基坑深层水平位移数据的处理中，进行实例分析．分析的结果表明，半参数模型是一种良好的抵御系统误差影响的基坑位移监测数据处理模型．