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描述激光外差干涉直线度及其位置测量方法；分析由渥拉斯顿棱镜偏摆角引起的测量误差，建立激光外差干涉直线度及其位置测量误差的数学模型，并进行仿真分析研究。结果表明：渥拉斯顿棱镜倾角和摆角引入的测量误差为正弦型误差分量，当渥拉斯顿棱镜偏摆角为1°时，直线度的测量误差有约为100nm，位置误差约为1nm；当渥拉斯顿棱镜的倾角为15″时，直线度测量误差约为700nm，位置误差约为15nm。