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论多晶硅生产废气回收的必要性
论多晶硅生产废气回收的必要性
来源 :云南化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aibertini
【摘 要】
:
介绍了某企业多晶硅生产过程中废气的来源和组成,对废气回收的必要性进行了论述。
【作 者】
:
陆大军
【机 构】
:
四川大学化工学院
【出 处】
:
云南化工
【发表日期】
:
2011年5期
【关键词】
:
多晶硅
废气
改良西门子法
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介绍了某企业多晶硅生产过程中废气的来源和组成,对废气回收的必要性进行了论述。
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