【摘 要】
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二维晶体材料如石墨烯、氮化硼等由于其独特的结构、物理特性和光电性能而被广泛研究,近年来二维材料独特的范德华外延也为氮化物外延生长开启了新的大门。范德华外延将晶体
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二维晶体材料如石墨烯、氮化硼等由于其独特的结构、物理特性和光电性能而被广泛研究,近年来二维材料独特的范德华外延也为氮化物外延生长开启了新的大门。范德华外延将晶体衬底与材料间的并入式生长模式,转换为范德华低势垒诱导生长模式,因此允许外延层与衬底之间存在很大的晶格失配,可以用来生长高质量氮化物薄膜。
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