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在离子源实验台架上,利用200型强流溅射离子源进行8种元素的负离子出束实验研究.这些负离子对应元素的电子亲合势大部分接近或小于零,负离子难以形成.实验中尝试使用不同的靶材料和辅助气体产生负离子,以提高负离子束的束流强度.
强流溅射源负离子出束实验研究
【摘 要】
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在离子源实验台架上,利用200型强流溅射离子源进行8种元素的负离子出束实验研究.这些负离子对应元素的电子亲合势大部分接近或小于零,负离子难以形成.实验中尝试使用不同的靶
【机 构】
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中国原子能科学研究院
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2004年3期
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