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期刊论文
21世纪初微电子技术发展展望
21世纪初微电子技术发展展望
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yzl1983523
【摘 要】
:
综述了微电子领域中纳米技术,MEMS,Si和GaAs集成电路,微波/毫米波器件及宽禁带半导体技术目前的发展状况。在此基础上,对其在21世纪初期的发展做了展望。
【作 者】
:
赵正平
【机 构】
:
石家庄电子部第十三研究所
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
纳米技术
MEMS
集成电路
宽禁带半导体
NanotechnologyMEMSICWide bandgap semiconductor
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综述了微电子领域中纳米技术,MEMS,Si和GaAs集成电路,微波/毫米波器件及宽禁带半导体技术目前的发展状况。在此基础上,对其在21世纪初期的发展做了展望。
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