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LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系。利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验，获得了其应力一应变曲线，通过数据处理和分析，获得了LIGA电铸镍的弹性模量、屈服极限以及断裂极限，并和纳米压痕仪测得的数据进行了对比，两者有较好的一致性。
基于LIGA工艺的电铸镍材料特性
【摘 要】
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LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系。利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验，获得了其应力一应变曲线，通过数据处理和分析，获得了LIGA电铸镍的弹性
【机 构】
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中国科学院电工研究所微纳加工技术部,北京理工大学机电工程与控制国家重点实验室
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2010年3期
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