Φ125mm硅单晶的控氧技术

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Φ125mm硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福(北京有色金属研究总院,北京100088)关键词:硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构1引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求,需要更精确地控制直拉硅单晶中的氧含量及氧梯度。单晶中的氧有两方面的作... Oxygen control technology of Φ125mm silicon single crystal Zhang Guohu Chang Qing Fang Feng Wu Zhiqiang Hao Yuqing Qin Fu (Beijing Nonferrous Metal Research Institute, Beijing 100088) Key words: Oxygen content of different requirements, the need for more precise control of the Czochralski silicon oxygen content and oxygen gradient. Single crystal oxygen in two ways for ...
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