论文部分内容阅读
Fabry-Perot(F-P)干涉仪是很多与波长相关的光学元器件的核心结构,通过研制基于MOEMS技术的F-P光开关,可以得到研制一大类MOEMS选频器件的基本设计方法和基本工艺步骤.文章给出了能完全与现有IC工艺相结合,采用Si,SiO2和Si3N4材料的多层介质结构的F-P光开关的设计方法和设计尺寸及其光性能的模拟结果,为今后研制光开关以及结构更为复杂的滤波器等打下了坚实的基础.