【摘 要】
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在工程使用激光扫描进行放样时，物镜像差对扫描精度的影响是不能忽略的。本文提出的直接测量方法，可以对未知结构的大相对孔径物镜的扫描误差实现高精度测量，测量灵敏度可达最大
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在工程使用激光扫描进行放样时，物镜像差对扫描精度的影响是不能忽略的。本文提出的直接测量方法，可以对未知结构的大相对孔径物镜的扫描误差实现高精度测量，测量灵敏度可达最大扫描范围的０．０１％．根据这一测量结果采用线性插值对扫描误差进行补偿，能够保证像差造成的扫描误差小于０．０２％。实验结果及其数字模拟证明这种方法是有效的．
When using a laser scanner for lofting, the effect of aberration on the scanning accuracy can not be neglected. The direct measurement method proposed in this paper can achieve high-precision measurement of the scanning error of the large relative aperture objective of unknown structure with the sensitivity up to 0.01% of the maximum scanning range. Based on this measurement, the linear interpolation is used to compensate the scanning error, which can ensure the scanning error caused by the aberration to be less than 0.02%. Experimental results and numerical simulations prove that this method is effective.
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