【摘 要】
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论述了介质阻挡强电离放电形成方法及其产生臭氧的等离子体反应过程 .实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和分解 .采用α型Al2 O3 制成电介质薄层 (2 30 μm)以及窄放
【机 构】
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大连海事大学环境工程研究所!大连116026;
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论述了介质阻挡强电离放电形成方法及其产生臭氧的等离子体反应过程 .实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和分解 .采用α型Al2 O3 制成电介质薄层 (2 30 μm)以及窄放电间隙 (110 μm)的新工艺、新技术 ,取得折合电场强度E/n大于 40 0Td的强电离放电 ,电子取得平均能量大于 10eV ,臭氧浓度达到 2 5 0 g/Nm3 ,臭氧产生效率达到 2 0 0 g/kWh .进而实现了臭氧产生装置生产组合模块化、小型化 .
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