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介绍了集成微透镜阵列光学器件，建立了开孔式离子扩散的数学模型，并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数，并研制成功该器件且给出其光学特性参数。
平面集成微透镜阵列的研制
【摘 要】
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介绍了集成微透镜阵列光学器件，建立了开孔式离子扩散的数学模型，并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数，并研制成功该器
【机 构】
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浙江工业大学浙江省光纤通信技术重点实验室
【出 处】
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浙江工业大学学报
【发表日期】
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2001年1期
【基金项目】
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浙江省自然科学基金
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