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<正> 混合集成电路(HIC)作为微电子领域的一个重要分支,几乎与半导体集成电路产业同步发展起来,HIC的嵋起首先得益于军事电子装备高性能、多功能、小型化、高可靠的迫切要求,继之受计算机行业发展的牵引。到80年代后期,伴随着相关技术的发展,HIC日渐成熟,迅速向消费品行业、通讯行业、汽车行业及其它应用行业迅速渗透,应用范围逐渐扩大,产量不断增加。特别是先进HIC—MCM的开发成功,其产品具有子系统、甚至系统级功能,充分拓展了传统HIC的应用空间,显示了HIC产业的光明前景。但就我国混合集成电路