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随着集成光学的发展,人们越来越关注硫系玻璃的二阶非线性光学性质的研究。用熔融淬冷方法制得了2个组分的Ge-Ga-S-Se决体玻璃,并以此作靶材,利用磁控溅射的方法制备了玻璃薄膜。利用DSC,紫外-可见光谱仪,XRD,SEM,Raman光谱仪,XPS分析了其结构。用Maker条纹法检测到了2种玻璃薄膜的二阶非线性。结果表明:用磁控溅射方法可以制得厚度均匀密实的硫系玻璃薄膜,由于偶极子的择优取向导致硫系玻璃具有较大的二阶非线性,并且加入硒能使玻璃的非线性增加。