用脉冲多弧离子源研制镍铬铁合金膜

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介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术,研究了采用这一新技术镀制镍铬铁合金膜的镀制工艺,对采用这一新技术所镀制的镍铬铁合金膜进行了性能测试。结果表明:选用合适的工艺参数,采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层均匀,牢固度好,膜层成分与脉冲多弧离子源阴极靶材成分含量误差小于±3% ,符合实际应用要求 This paper introduces a new technology of coating Ni-Cr-Fe alloy film by pulsed multi-arc ion source and studies the plating technology of Ni-Cr-Fe alloy film by this new technology. The Ni-Cr- Conducted a performance test. The results show that the film of nickel-chromium-iron alloy plated by this new technique is uniform and firm, and the error of the composition of the film and the pulsed multi-arc ion source cathode target is less than ± 3%, which is in line with the applicable process parameters Practical application requirements
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