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介绍了激光干涉莫尔信号差动式精密定位方法,提出了精密定位装置的粗控和微控两段式控制方式,扩大了装置的定位控制范围,又有效地缩短精密定位时间,实现装置宽控制范围的高速高精度控制.
基于激光莫尔信号精密定位装置的高速高精度定位控制
【摘 要】
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介绍了激光干涉莫尔信号差动式精密定位方法,提出了精密定位装置的粗控和微控两段式控制方式,扩大了装置的定位控制范围,又有效地缩短精密定位时间,实现装置宽控制范围的高速
【机 构】
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225009,日本爱知工业大学情报工学科
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2003年10期
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