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本文介绍测量与评定对MEMS产业发展意义以及微几何量评定总则的作用,详细阐述了微几何量评定总则的六个主要组成部分：评定基本原则、评定要素、评定程序、测量、评定规则以及评定结论。
微几何量评定总则研究
【摘 要】
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本文介绍测量与评定对MEMS产业发展意义以及微几何量评定总则的作用,详细阐述了微几何量评定总则的六个主要组成部分：评定基本原则、评定要素、评定程序、测量、评定规则以及
【机 构】
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机械科学研究总院中机生产力促进中心
【出 处】
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机械工业标准化与质量
【发表日期】
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2009年11期
【基金项目】
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本论文为国家高技术研究发展计划基金项目（项目编号2007AA04Z354）研究成果.
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