【摘 要】
：
叙述了高κ介质材料替代传统SiO2作为栅介质是超大集成电路发展的必然趋势,总结了Hf基高κ材料基本性能、研究现状及制备方法,推荐了满足MOS制程要求的ALD薄膜沉积技术。分析
论文部分内容阅读
叙述了高κ介质材料替代传统SiO2作为栅介质是超大集成电路发展的必然趋势,总结了Hf基高κ材料基本性能、研究现状及制备方法,推荐了满足MOS制程要求的ALD薄膜沉积技术。分析了ALD技术的优点,认为ALD技术在薄膜沉积方面有传统成膜技术所无可比拟优势。Hf基高κ材料用途主要包括2类,用于储存器的电容介质和用作晶体管MOS的栅介质,重点介绍Hf基高κ栅介质材料的应用。认为进一步探索新的Hf基高κ材料,提高其与衬底材料相容性及改善界面性能,通过掺杂或发展制备工艺获得优异综合性Hf基高κ材料是重要途径。
其他文献
分析了60℃、1.0×10^4mg/L氯化钠盐水和模拟地层水中纳米SiO2/HPAM/SDS分散体系的浊度实验及Zeta电位,发现Ca^2+、Mg^2+离子是体系失去稳定性的主要原因。根据沉降实验
为提供贵州刺梨及无籽刺梨开发利用的参考，采用2，6-二氯酚靛酚染料滴定测定等方法，对贵州省植物园栽培的刺梨及无籽刺梨的果实特性和主要营养成分进行测定，并将测定结果与不同产
随着竞争的不断深入,药店开始将焦点转移到提高顾客满意、维持顾客忠诚的服务性较量中.顾客满意取决于顾客的主观感受,会随着各种外界因素的变化而变化,因此,顾客满意是一个
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
目的研究糖尿病足患者住院药费用的现状及其影响因素,为建立患者合理经济负担的制度提供基础数据。方法对糖尿病足患者的疾病特征、社会特征、临床特征、医院管理因素及患者
研究了乙烯基三甲氧基硅烷(A-171)对硅橡胶物理性能和交联网络的影响。结果表明,硅橡胶中引入A-171,理论计算得出硅橡胶的乙烯基总含量会有较大增长。A-171的引入导致硅橡胶