【摘 要】
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石墨烯因其优异的电学性能,被期望成为下一代微电子器件领域中的重要材料.然而电迁移引起的孔洞或丘凸等损伤始终是威胁微电子器件可靠性的因素,因此研究石墨烯薄膜的电迁移
【机 构】
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宁夏师范学院物理与电子信息工程学院 固原756000宁夏师范学院纳米结构与功能材料工程中心 固原756000;国网宁夏电力有限公司固原分公司 固原756000;
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石墨烯因其优异的电学性能,被期望成为下一代微电子器件领域中的重要材料.然而电迁移引起的孔洞或丘凸等损伤始终是威胁微电子器件可靠性的因素,因此研究石墨烯薄膜的电迁移损伤及失效变得尤为重要.我们在对石墨烯薄膜的应力迁移和热迁移问题研究的基础上开展了其电迁移损伤演化及失效的研究.本文将采用分子动力学方法,结合Tersoff势函数和速度形式的Verlet算法建立了单层石墨烯薄膜承载过程的理论模型,并对其有效性进行了验证,并模拟记录了石墨烯薄膜的电迁移损伤演化过程及失效特征.通过理论与数值模拟相结合的研究,进一步揭示了石墨烯薄膜电迁移损伤的演化规律与趋势,为微电子器件的设计和优化提供理论和技术参考.
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