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介绍了扫描探针纳米加工技术的基本原理、应用前景和最新进展,并讨论了该技术的发展趋势.
扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势
【摘 要】
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介绍了扫描探针纳米加工技术的基本原理、应用前景和最新进展,并讨论了该技术的发展趋势.
【机 构】
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中国科学院化学研究所
【出 处】
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大学化学
【发表日期】
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2003年1期
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