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运用感应偶合射频等离子对304不锈钢进行了氮化处理，获得了高的氮化速率及较高的显微硬度。探讨了等离子体能量及处理时间对氮化速率和显微组织的影响，在优化等离子处理的条件下，其氮化速率可达到3μm/s，显微硬度达到1800HV。表面微裂纹和温度梯度的存在及较高的氮含量可能是较高氮化速率、较高表面硬度的原因。