MCZ 技术的研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lfwvb

【摘要】

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本文在概述了 MCZ(Magnetic-field-applied CZ)技术的理论基础上,介绍了由作者们所研制的两种新型MCZ 硅单晶炉——“Y”形磁场和螺旋管全封闭式非线性磁场硅单晶炉,并在横向

【作者】

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周士仁纪彦蜀孔庆茂高元恺王守雨韩长林傅择国

【机构】

：

哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学,鹤岗市半导体材料厂,鹤岗市半导体材料厂,鹤岗市半导体材料厂

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1987年01期

【关键词】

：

硅单晶氧含量单晶炉 MCZ

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本文在概述了 MCZ(Magnetic-field-applied CZ)技术的理论基础上,介绍了由作者们所研制的两种新型MCZ 硅单晶炉——“Y”形磁场和螺旋管全封闭式非线性磁场硅单晶炉,并在横向分量为1300G垂直分量为700G的“Y”形磁场中拉制出了MCZ 硅单晶.对氧含量和掺杂浓度的测量及对微观结构的初步观察表明,所设计的新型磁场单晶炉,可明显地提高硅单晶的掺杂均匀性和结构完整性.

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