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传统表面质量评价多是对原始表面微观形貌几何特征的描述，未与表面的服役过程形成关联，原始表面以及服役过程中的变化和其使用性能之间的关系，一直是研究的重点。原位测量技术可以在较大视场内对微细结构进行精确定位与高分辨测量，进而描述表面变化的渐进性过程，在原始表面和使用性能之间建立联系，同时可以考察粗糙度参数的稳定性，甚至产生新的综合参数，原位测量还是基于功能的表面微观几何结构设计的技术基础。原位测量技术为表面质量评价提供了新视角和新方法。