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闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制膜时镀层设计不受元素化合价及相图的限制，工艺控制简单，可以方便地设计镀层的成分和结构，且膜／基结合性能突出。研究了用该技术制备的硬质CrTiAIN梯度膜，该膜具有良好的结合力和韧性，在无润滑切削条件下，适用不同的切削方式：对于普通高速钢钻头提高寿命数十倍，同时扩展工件材料至高强度钢；对断续式的铣削黄铜，可提高寿命25倍；对于加工PVC板的微钻，寿命仍可提高4倍以上。