基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺

来源 :机械制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jackmengxiaojing

【摘要】

：

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺.该驱动器结构简单,由 Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起.分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器

【作者】

：

苏宇锋陈文元

【机构】

：

上海交通大学微米、纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室

【出处】

：

机械制造

【发表日期】

：

2004年12期

【关键词】

：

电磁驱动微驱动器 Parylene振动膜 Electro-magnetically Actuated Micro Actuator Parylene diap

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主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺.该驱动器结构简单,由 Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起.分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化.采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在 Parylene薄膜上电镀 NiFe合金阵列,并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构.

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