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大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点，通过优化软件结构和关键控制算法，成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计，测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。
大角度离子注入机控制系统软件设计
【摘 要】
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大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点，通过优化软件结构和关键控制算法，成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计，测试证明软
【机 构】
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中国电子科技集团公司电子第四十八研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年2期
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