软X射线谱学显微图像漂移的精确校正

来源 :核技术 | 被引量 : 3次 | 上传用户：ysr123

【摘要】

：

上海光源软X射线谱学显微实验站(BL08U)新建成并投入使用,已实现30nm空间分辨的元素成像功能。由于机械精度和重复精度误差,不同能量扫描出的两幅或多幅图像位置会有一定量的漂移。在高分辨情况下图像漂移不仅给数据处理带来严重误差,导致分辨率下降,甚至产生错误,所以需对不同能量下的图像配准。硬件上用激光干涉仪对样品定位,并通过slope函数确定样品台移动的漂移规律,从而在移动样品过程中对位置动态校正

【作者】

：

张祥志许子健甄香君王勇郭智严睿邰仁忠

【机构】

：

中国科学院上海应用物理研究所,上海,201204

【出处】

：

核技术

【发表日期】

：

2010年09期

【关键词】

：

图像配准分窗口相关函数激光干涉仪扫描透射软X射线显微

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