压电型精密位移驱动器的研究进展

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把压电型精密驱动器按技术特点分为直动式、步进式/蠕动式和惯性式三类,列举了各类中的国内外典型机构,分析各类驱动机构的工作原理、优势、缺点、适用场合及研究的活跃点,对进一步研究多自由度精密位移驱动器具有指导意义.
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