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基于Attaf和Jha等提出的理论，在 Oliver-Pharr（OP）法计算压痕硬度的基础上，分别建立了卸载功、卸载斜率和压痕硬度之间的解析模型；用此模型计算得到了压痕硬度并与面积法计算的结果进行了对比分析，分析了卸载斜率和卸载功的计算误差对压痕硬度的影响。结果表明：卸载斜率的计算精度受数据采集误差的影响较大，以卸载功计算压痕硬度则可避免数据采集误差的影响；与 OP法相比，以卸载功计算的压痕硬度与面积法得到的更为接近；卸载斜率计算误差对压痕硬度计算精度的影响大于卸载功计算误差的。