【摘 要】
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对石英基片欧拉角为(o°,124°γ)系列传播方向上传播的表面声波波动模式进行了理论分析与实验研究.发现在欧拉角为(0°,124°,50°)传播方向上存在着传播性能较好的表面准纵
【机 构】
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南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室.江苏南京
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对石英基片欧拉角为(o°,124°γ)系列传播方向上传播的表面声波波动模式进行了理论分析与实验研究.发现在欧拉角为(0°,124°,50°)传播方向上存在着传播性能较好的表面准纵波模式,它的相速度为7013.8m/s、传播衰减为9.36×10-5dB/λ、机电耦合系数为0.005%.基于此传播方向的表面声波波动模式的另一个特点是漏剪切声波模式几乎不激发,这一点对于制作高频器件有一定的应用价值.并指出当传播方向偏离常用的传播方向γ=90°时.表面漏剪切声波存在着严重的束偏向问题.同时在文章中给出了(0°,124°γ)系列传播方向上瑞利波相速度、机电耦合系数等传播特性.
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