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本文介绍了辉光放电光谱仪（GD—OES）的结构与基本原理。分别对仪器各部件（如辉光放电光源、直流恒流供能源、光学系统、自动控制系统、数据采集处理系统）的研制进行了详细地阐述。采用研制的辉光放电光谱仪分别对样品进行了成分分析和深度分析，取得了很好的分析结果。所研制的辉光放电光谱仪在光学系统的PMT负高压、直流恒流供能源、光源不同部位的不同抽速等多方面都有相应的技术创新。