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文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析,并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。
MEMS器件常用微弱信号检测技术研究
【摘 要】
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文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析,并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号
【机 构】
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中北大学信息与通信工程学院,山西科泰微技术有限公司,空军驻山西地区军事代表室
【出 处】
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仪表技术
【发表日期】
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2010年02期
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