【摘 要】
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在采用磁控溅射方法分别制备单层ZnS、MgF2、SiO2薄膜及表征其折射率基础上,以折射率逐渐减小的三层结构（HML结构）思想,采用TFC光学薄膜软件,设计并模拟了可用于四结砷化镓（GaIn
【机 构】
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云南师范大学云南省农村能源工程重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61664010)
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在采用磁控溅射方法分别制备单层ZnS、MgF2、SiO2薄膜及表征其折射率基础上,以折射率逐渐减小的三层结构（HML结构）思想,采用TFC光学薄膜软件,设计并模拟了可用于四结砷化镓（GaInP/GaAs/GaInAs/GaInAs）太阳电池的三层ZnS/MgF2/SiO2减反射膜系.并分析模拟了窗口层厚度、各膜层厚度和折射率以及光入射角对有效反射率的影响.结果表明:窗口层厚度、SiO2的折射率和ZnS膜层厚度对有效反射率Re的影响最为显著;在3501 800nm宽波段,当窗口层厚度为83nm,膜系厚度分别为57nm、37nm和88nm,且光入射角为0°时,有效反射率Re最小可达3.38%.
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