Characterization of the Diamond—like Carbon based Functionally Gradient Film

来源 :材料科学技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：diaoyujiao

【摘要】

：

Diamond-like carbon coatings have been used as solid lubricating coatings in vacuum technology for their goodphysical and chemical properties. In this paper, th

【作者】

：

FengMA HngtaoMA

【机构】

：

KeyLab.oftheMinistryofEducationforHighTemperatureMaterialsandTesting,StatekeyLab.ofTribology

【出处】

：

材料科学技术：英文版

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

类金刚石功能梯度薄膜氮化钛 AFM 拉曼散射光谱碳化钛结构 304不锈钢表面涂层制备表面处理 Diamond like carbon Nano

【基金项目】

：

support of the Key Lab of Precision Processing of Harbin Institute of Technology, China，The grant of the School of Material Science and Engineering, Harbin Institute of Technology

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Diamond-like carbon coatings have been used as solid lubricating coatings in vacuum technology for their goodphysical and chemical properties. In this paper, the hybrid technique of unbalanced magnetron sputtering and plasmaimmersion ion implantation (PIl

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