微磨料气射流成形加工硅片表面粗糙度模型

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微磨料气射流加工技术具有热影响区小、加工时切削力小、几乎能加工所有材料的优势,适合硬脆材料的成形加工。表面粗糙度是衡量微磨料气射流成形加工质量的重要指标之一。通过微磨料气射流成形加工硅片实验,获得表面粗糙度的实验数据。用量纲分析法归纳出微磨料气射流成形加工表面粗糙度的无量纲影响参量,获得表面粗糙度的无量纲函数通式。基于广义回归神经网络的基本结构,以无量纲函数通式中的自变量为网络的输入,因变量为网络的输出,以表面粗糙度实验数据为样本集,构建了基于量纲分析法的广义回归神经网络表面粗糙度模型。实验证明该模型能有
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