【摘 要】
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为了改善叠层模板电沉积技术（LTE）中沉积层的均匀性,以减少辅助工序的工作量,采用直流电流、正脉冲电流和换向脉冲电流3组电流配置进行对比实验,对电流参数包括换向脉冲的脉宽
【机 构】
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南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京航空航天大学机电学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50575104）,南京航空航天大学科研创新基金资助项目（Y0605-052）
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为了改善叠层模板电沉积技术（LTE）中沉积层的均匀性,以减少辅助工序的工作量,采用直流电流、正脉冲电流和换向脉冲电流3组电流配置进行对比实验,对电流参数包括换向脉冲的脉宽、频率,工作时间、关断时间以及电流密度作了调整和优化.通过对宏观厚度和微观形貌的测量,发现：换向电流配置条件下,模板沉积层具有较好的均匀性,换向脉冲电流的应用可以有效减少LTE工艺的加工难度和加工时间.文中还就换向电流对沉积层整平修饰的作用机理进行了理论分析,并采用优化的换向电流参数制备出了一批截面为20mm×20mm、厚度为4
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