基于角锥棱镜的激光干涉位移测量误差分析

来源 :计算机测量与控制 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong487

【摘要】

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基于光线矢量方法和角锥棱镜光学特性,推导角锥棱镜姿态角、直线运动自由度、余弦误差以及阿贝误差对激光干涉位移测量影响的数学表达式,并使用RENISHAWXL80激光干涉仪搭建测量光路,开展相关测量实验;结果表明:姿态角对干涉位移测量的影响通常不超过0.1 μm;当角锥存在直线自由度误差时,返回测量光束的光斑中心会产生与水平或垂直直线度方向一致的平移,但不会引入几何位移测量误差;推导给出角锥棱镜测量光束的回光偏移量与余弦误差之间的关系,阿贝误差与阿贝臂值和角锥棱镜偏摆角之间的关系;干涉位移测量实验表明,通过修

【作者】

：

王亮亮商正君杨海马杨美婷杨静赵建海于涌

【机构】

：

中国科学院上海天文台,上海 200030;上海理工大学,上海 200093;中国科学院上海天文台,上海 200030;中国科学院大学,北京 100049

【出处】

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计算机测量与控制

【发表日期】

：

2022年3期

【关键词】

：

激光干涉角锥棱镜位移测量误差分析误差修正

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