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期刊论文
微型激光扩束镜高质量表面加工工艺的研究
微型激光扩束镜高质量表面加工工艺的研究
来源 :光学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zl168
【摘 要】
:
研究了微型激光扩束镜准超光滑表面的加工工艺。分析了机床速度、压力、抛光粉、工作温度、抛光模等对高质量表面的影响。选定了一系列的工艺参数,大幅度地提高了产品的合格
【作 者】
:
樊金贵
【机 构】
:
超大光电科技有限公司;
【出 处】
:
光学技术
【发表日期】
:
2006年S1期
【关键词】
:
微型扩束镜
高质量表面加工
检验方法
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研究了微型激光扩束镜准超光滑表面的加工工艺。分析了机床速度、压力、抛光粉、工作温度、抛光模等对高质量表面的影响。选定了一系列的工艺参数,大幅度地提高了产品的合格率。
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