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研究湿法刻蚀工艺在多晶硅电池的应用。通过调整湿法刻蚀设备刻蚀槽化学药品配比,药品浓度,反应温度,药液流量等工艺参数,来优化湿法刻蚀工艺达到理想的背面抛光效果,最终实现太阳能电池转换效率提升0.05%以上。
太阳电池湿法刻蚀技术研究
【摘 要】
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研究湿法刻蚀工艺在多晶硅电池的应用。通过调整湿法刻蚀设备刻蚀槽化学药品配比,药品浓度,反应温度,药液流量等工艺参数,来优化湿法刻蚀工艺达到理想的背面抛光效果,最终实
【机 构】
：
英利能源（中国）有限公司
【出 处】
：
电子技术与软件工程
【发表日期】
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2017年14期
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